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Ionenimplantation in Halbleitern

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Vorwort

Das legendäre Experiment. Dadurch, dass der Betreuer keine Termine in das Portal schreibt und wir es "manuell" gebucht haben waren wir die erste Gruppe seit einem Jahr oder so, d.h. wir wussten nicht was uns erwartet. Es war ziemlich unorthodox. Man arbeitet an einem ziemlich alten Ionenstrahl, der zwischendrin immer droht auszufallen- ganz Besondere Spannung. Am Anfang konnte der Betreuer den Strahl auf dem mittelalterlichen Steuerpanel mit 100 Knöpfen nicht einstellen. Er rief einen Ingenieur, der drehte gefühlt an allen Knöpfen gleichzeitig und nach ungefähr einer Minute löste er das Problem und fragte wer den Magneten links unten verstellt habe. Im Raum dieses Steuerpanels befanden sich noch weitere erwähnenswerte Dinge, wie ein weiteres spaciges moderneres Steuerpanel mit mehreren Physikern daran, die den anderen Strahl bedient haben oder einem Aquarium, dessen Wasser grün und schimmlig war, doch die Fische lebten noch. Dazwischen befand sich ein Tisch voller geöffneter Süßigkeiten die auch ich nicht gerne angerührt hätte. Im Nebenraum schlugen wir glücklicherweise unser Lager auf.

Theorie

  • Haben sie die Anleitung gelesen?

Experiment

  • Computerversuch
  • man arbeitet allein, der Betreuer ist in seinem Büro
  • man muss hier zunächst Dinge in den Computer eindrücken, wie im ausliegneden Handout beschrieben
  • Messungen im Stundenbereich, da der Strahl auch immer schwächer wird und mglw ausfällt (Hauptproblem)
  • Währenddessen und danach Auswertung mit dem Programm, was Schichtzusammensetzungen modelliert (schauen wann es am Besten passt, sinnvolle herangehensweise Überlegen)
  • zur Mittagspause sind wir mit der Gesamten Arbeitsgruppe essen gegangen

Protokoll

  • im Handout steht genau was rein muss
  • Orientierung an Anleitung sinnvoll

Bewertung

  • ziemlich locker